共焦顯微術(shù)的概念早由M. Minsky在20世紀(jì)50年代提出。M. Minsky在哈佛大學(xué)做研究期間,于1957年對(duì)載物臺(tái)掃描共焦光學(xué)蔡司顯微鏡申報(bào)了美國(guó)國(guó)家。在此成像系統(tǒng)中,采用點(diǎn)光源照明樣品,而攜帶樣品信息的光被點(diǎn)探測(cè)器收集,利用橫向和軸向掃描技術(shù)獲得整個(gè)樣品的三維信息。
共聚焦顯微鏡原理
光學(xué)顯微鏡相機(jī)接受所有來(lái)自樣品表面的信?息,包括聚焦的和非聚焦的平面
而共聚焦蔡司顯微鏡在光路中增加了針孔,針孔會(huì)過(guò)?濾掉非焦平面的光,探測(cè)器只接收來(lái)自樣品聚?焦平面的信息
簡(jiǎn)單來(lái)說(shuō),共聚焦蔡司顯微鏡成像有如下步驟:
通過(guò)針孔過(guò)濾掉非焦平面的信息
一次掃描獲得單張只有焦平面信息的圖像
通過(guò)Z軸方向移動(dòng)獲取多張圖像
計(jì)算獲得每個(gè)像素的高度信息
創(chuàng)建表面三維形貌信息







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