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蔡司三坐標測量儀的原理是由X、Y、Z這3個互相垂直的運動軸建立起一個直角坐標系，測頭的一切運動都在這個坐標系中進行。蔡司三坐標測量儀測量時，將被測工件放在工作臺上，測頭與工件表面接觸，三坐標測量機的檢測系統(tǒng)可以給出測球中心點在坐標系中的準確位置。當測球沿著工件的幾何型面移動時，就可以得出被測幾何面上各點的坐標值；這些位置測量數(shù)據(jù)經(jīng)計算機軟件處理，就可以準確地給出被測工件的幾何尺寸及形位誤差等。蔡司三坐標測量儀由硬件和軟件組成，其中測量機硬件由主機（包括光柵尺），電氣系統(tǒng)及測頭等組成。